探讨高精度低温恒温槽的相关设计

　　低温恒温槽应用广泛，可应用在：

　　对半导体制造装置发热部的冷却：单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。

　　对激光装置发热部分的冷却：激光加工、熔接机的发热部分、激光标志装置、发生装置、二氧化碳激光加工机等。

　　其他产业用机器发热部分的冷却：等离子熔接、自动包装机、模具冷却、洗净机械、镀金槽、精密研磨机、射出成型机、树脂成型机的成型部分等。

　　高精度低温恒温槽中换热设备设计准备：

　　首先要全面准确地理解设低温恒温槽计任务书对设计的要求。掌握工艺生产的某些条件如工作温度、允许温差压力、允许压降、工作流体的物理和化学性质等。除此之外还应包括设备热负荷、低温恒温槽可以提供的材料、加工条件等方面。这些资料是选型的依据、同时也是热力计算的前提。

　　高精度低温恒温槽中换热设备设计内容：

　　1.根据设计的任务结合各类低温恒温槽换热设备的结构和特点。选定设备形式必要时可同时选取几种形式进行初步结构设计，通过技术经济等综合比较确定终形式。

　　2.根据选定的初步结构形式以及其他参数，低温恒温槽进行传热计算、阻力计算以及强度计算。计算结果应使结构设计的传热面积与传热计算的传热面积相比有10％-20％的裕量，而计算压阵小于允许压降。在进行强度计算时，要特别注意所用材料的温度特性。许多材料的特性在低温时与常温时相差很大，此外设计时还应遵循压力容器的设计标准和规范。

　　3.校核计算。

　　4.进行精心的机械设计，低温恒温槽包括零部件尺寸的确定和强度铰核、温差腕力计算、热补偿力案确定等。